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真空機(jī)械手

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更新時(shí)間:2019-06-15 16:07:48瀏覽次數(shù):880

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào) 90    
真空機(jī)械手
適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運(yùn),本產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,集成度高,無(wú)外置控制箱。
參數(shù)ZX1-ZX2-
結(jié)構(gòu)形式直線式折疊式
適用基片≤12"
載重量≤0.5kg
運(yùn)動(dòng)方向伸縮、旋轉(zhuǎn),可選配升降
行程伸縮:600mm/旋轉(zhuǎn):任意角度/升降:15mm;其他需求可定制
重復(fù)精度±0.1mm
可耐真空度≤10-6Pa
接口Modbus TCP/IP、RS485(Modbus RT

詳細(xì)介紹

真空機(jī)械手

 適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運(yùn),本產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,集成度高,無(wú)外置控制箱。

參數(shù)ZX1-ZX2-
結(jié)構(gòu)形式直線式折疊式
適用基片≤12”
載重量≤0.5kg
運(yùn)動(dòng)方向伸縮、旋轉(zhuǎn),可選配升降
行程伸縮:600mm/旋轉(zhuǎn):任意角度/升降:15mm;其他需求可定制
重復(fù)精度±0.1mm
可耐真空度≤10-6Pa
接口Modbus TCP/IP、RS485(Modbus RTU)、Remote IO
其他特殊手指結(jié)構(gòu)可定制

真空機(jī)械手

成都華聚科技有限公司位于成都市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)(龍泉驛),是一家以自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)為核心,致力于數(shù)字化智能制造裝備的高科技企業(yè)。 

       公司與國(guó)內(nèi)外多個(gè)研究所、高校和企業(yè)*合作,始終以超前的科技和強(qiáng)大的創(chuàng)新能力,服務(wù)于客戶。 

       公司主營(yíng)業(yè)務(wù)覆蓋:Cluster團(tuán)簇式半導(dǎo)體工藝設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、CVD設(shè)備、核心部件(機(jī)械手、加熱器、Cluster團(tuán)簇中心傳送平臺(tái))、定制化真空設(shè)備、機(jī)電一體自動(dòng)化服務(wù)(機(jī)電物聯(lián)網(wǎng)服務(wù))等一系列的產(chǎn)品或解決方案。 

       公司始終以“技術(shù)體現(xiàn)我們的智慧,質(zhì)量體現(xiàn)我們的尊嚴(yán)” 作為公司經(jīng)營(yíng)理念,同時(shí)加強(qiáng)售前售后服務(wù),我們始終以“質(zhì)量良好、服務(wù)優(yōu)先、技術(shù)*”作為追求目標(biāo)。
       公司匯聚了眾多相關(guān)領(lǐng)域的人才,針對(duì)客戶的產(chǎn)品特點(diǎn)提供專業(yè)解決方案,更能以優(yōu)質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)產(chǎn)品超越客戶的期望,深受廣大客戶的認(rèn)可和贊譽(yù)!
       公司現(xiàn)有26人專業(yè)團(tuán)隊(duì),并另聘請(qǐng)研究員1人,大學(xué)材料教授和等離子物理團(tuán)隊(duì)6人,高級(jí)工程師2人,涵蓋真空工程、材料科研、等離子物理,器件物理、化管理等方面的各種人才。


Chengdu Huaju Technology was founded in 2016, the registration place is located in Chengdu economic and technological development zone.Our company concentrates on R&D , manufacture of the high-end automatic equipment as well as the vacuum application equipment of the micro-nano materials and devices, and we are the leading company of the field of vacuum. In addition, we cooperate with many scientific research institutes(colleges and universities).

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