詳細(xì)介紹
CSE系列團(tuán)簇中心轉(zhuǎn)運(yùn)平臺(tái)1、產(chǎn)品用途
提供定制化的Cluster團(tuán)簇中心轉(zhuǎn)運(yùn)平臺(tái),用于將產(chǎn)品或襯底在各工藝腔室之間進(jìn)行轉(zhuǎn)運(yùn),以便客戶進(jìn)行二次開發(fā)。
2、技術(shù)參數(shù)
基片尺寸 | 可選:4”、6”、8"、12" |
工位數(shù) | 可選:4工位、6工位、8工位 |
真空機(jī)械手 | 選配 |
工藝反應(yīng)腔體 | 可選:Sputtering/PECVD/Etch/Evaporation/Plasma Clean/Annealing |
腔體材料 | 鋁/不銹鋼 |
控制軟件 | 定制選配 |
CSE系列團(tuán)簇中心轉(zhuǎn)運(yùn)平臺(tái)
成都華聚科技有限公司位于成都市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)(龍泉驛),是一家以自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)為核心,致力于數(shù)字化智能制造裝備的高科技企業(yè)。
公司與國(guó)內(nèi)外多個(gè)研究所、高校和企業(yè)*合作,始終以超前的科技和強(qiáng)大的創(chuàng)新能力,服務(wù)于客戶。
公司主營(yíng)業(yè)務(wù)覆蓋:Cluster團(tuán)簇式半導(dǎo)體工藝設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、CVD設(shè)備、核心部件(機(jī)械手、加熱器、Cluster團(tuán)簇中心傳送平臺(tái))、定制化真空設(shè)備、機(jī)電一體自動(dòng)化服務(wù)(機(jī)電物聯(lián)網(wǎng)服務(wù))等一系列的產(chǎn)品或解決方案。
公司始終以“技術(shù)體現(xiàn)我們的智慧,質(zhì)量體現(xiàn)我們的尊嚴(yán)” 作為公司經(jīng)營(yíng)理念,同時(shí)加強(qiáng)售前售后服務(wù),我們始終以“質(zhì)量良好、服務(wù)優(yōu)先、技術(shù)*”作為追求目標(biāo)。
公司匯聚了眾多相關(guān)領(lǐng)域的人才,針對(duì)客戶的產(chǎn)品特點(diǎn)提供專業(yè)解決方案,更能以優(yōu)質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)產(chǎn)品超越客戶的期望,深受廣大客戶的認(rèn)可和贊譽(yù)!
公司現(xiàn)有26人專業(yè)團(tuán)隊(duì),并另聘請(qǐng)研究員1人,大學(xué)材料教授和等離子物理團(tuán)隊(duì)6人,高級(jí)工程師2人,涵蓋真空工程、材料科研、等離子物理,器件物理、化管理等方面的各種人才。
Chengdu Huaju Technology was founded in 2016, the registration place is located in Chengdu economic and technological development zone.Our company concentrates on R&D , manufacture of the high-end automatic equipment as well as the vacuum application equipment of the micro-nano materials and devices, and we are the leading company of the field of vacuum. In addition, we cooperate with many scientific research institutes(colleges and universities).