軟著陸閉管擴(kuò)散爐設(shè)備概述
閉管磷擴(kuò)散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，工藝廢氣集中從尾部排出；各種工藝氣體可分開(kāi)送入石英管內(nèi)，工藝氣體（三氯氧磷）可采用噴淋式方式引入石英管內(nèi)。閉管擴(kuò)散方式工藝過(guò)程*不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量*受控。



設(shè)備應(yīng)用

太陽(yáng)能電池片P型硅片的基礎(chǔ)上擴(kuò)散一層N型磷源，形成PN結(jié)。



技術(shù)參數(shù)

● 工藝管的數(shù)量：3-4管

● 單臺(tái)產(chǎn)能：450片/管

● 結(jié)

軟著陸閉管擴(kuò)散爐

設(shè)備概述

閉管磷擴(kuò)散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，工藝廢氣集中從尾部排出；各種工藝氣體可分開(kāi)送入石英管內(nèi)，工藝氣體（三氯氧磷）可采用噴淋式方式引入石英管內(nèi)。閉管擴(kuò)散方式工藝過(guò)程*不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量*受控。

 

設(shè)備應(yīng)用

太陽(yáng)能電池片P型硅片的基礎(chǔ)上擴(kuò)散一層N型磷源，形成PN結(jié)。

 

技術(shù)參數(shù)

● 工藝管的數(shù)量：3-4管

● 單臺(tái)產(chǎn)能：450片/管

● 結(jié)構(gòu)型式：臥式

● 工作溫度范圍：400～1100℃

● 工藝均勻性：≤±5%(30～60歐姆)

● 氣體流量設(shè)定精度：±1%FS

● 氣路系統(tǒng)氣密性：1x10-7pam3/s

● 控制方式：工業(yè)微機(jī)控制

● 內(nèi)置五點(diǎn)：PROFILE熱偶

● 工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

配備自動(dòng)舟升降系統(tǒng)、實(shí)現(xiàn)3-4管工藝舟、全自動(dòng)取料。

● 軟著陸載片裝置

軟著陸載片裝置，避免了SiC漿的遮擋影響，提高了擴(kuò)散的均勻性，同時(shí)漿的清洗周期大幅度延長(zhǎng)。 

● 自動(dòng)壓力平衡裝置

為保證反應(yīng)管內(nèi)的壓力平衡，該裝置配有進(jìn)口壓差傳感器檢測(cè)爐內(nèi)外差，并有專門的控制裝置和氣路流量計(jì)與之配套實(shí)時(shí)控制，保證爐內(nèi)內(nèi)外壓差為定值。且根據(jù)工藝需要改變壓差設(shè)定值，從而保證工藝均勻性及工藝擴(kuò)展性。 

● 高精度溫度控制

新型爐體設(shè)計(jì)提高了溫度的穩(wěn)定性，配合進(jìn)口高精度溫控儀進(jìn)行串級(jí)控制，保證工藝過(guò)程中溫度的快速穩(wěn)定。 

● 高性能進(jìn)口元件組合

關(guān)鍵件采用進(jìn)口，且為半導(dǎo)體級(jí)別，優(yōu)質(zhì)的元件組合，從而保證成膜質(zhì)量。

● 閉管擴(kuò)散

工藝片在石英管內(nèi)實(shí)現(xiàn)真正意義上的閉管擴(kuò)散。

● 全數(shù)字化控制系統(tǒng)

觸控平板工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，功能齊全，數(shù)字化管理各種控制部件，性能更加穩(wěn)定可靠。 

● 數(shù)字式MFC精確控制氣體流量

數(shù)字式MFC的運(yùn)用，消除了模擬量傳輸?shù)母蓴_，有益于工藝生產(chǎn)的重復(fù)穩(wěn)定性控制，*地提高工藝批次件的品質(zhì)。 

● 隔熱和密封的爐門系統(tǒng)

良好的隔熱設(shè)計(jì)減少了熱量的損失并減少了溫度恢復(fù)時(shí)間，保證裝載區(qū)無(wú)污染，使操作人員遠(yuǎn)離偏磷酸的危害。 

● 防污染的尾部廢氣處理系統(tǒng)

POCl3 殘留物冷凝在石英管容器中，便于安全地處理。 減少了90%以上的有體，增加了操作人員的安全性。

軟著陸閉管擴(kuò)散爐