氧化/擴(kuò)散爐

應(yīng)用于半導(dǎo)體分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規(guī)模集成電路制造領(lǐng)域?qū)M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于2-8英寸工藝尺寸。

產(chǎn)品特點(diǎn)

● 可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置多步

● 工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能

● 工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能

● 自動(dòng)運(yùn)行中可暫停／繼續(xù)運(yùn)行功能

● 可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能

● PID參數(shù)自整定功能

● 工藝氣體的程序控制功能

● 關(guān)鍵部件全部具有高可靠性

● 具有良好的人機(jī)界面

● 系統(tǒng)故障自診功能

● 停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等等

● 具有歷史記錄功能，可打印

● 具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償

● 可根據(jù)用戶的特殊要求增減開發(fā)相應(yīng)的功能

技術(shù)指標(biāo)

● 可配置工藝管外徑2～8英寸

● 可配置工藝管數(shù)量：1～4管/臺(tái)

● 工作溫度范圍：400～1300℃

 青島微弘設(shè)備技術(shù)有限公司（以下簡稱青島微弘）是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的半導(dǎo)體新能源設(shè)備、光伏太陽能新能源裝備、材料熱處理設(shè)備的綜合性現(xiàn)代企業(yè)，自創(chuàng)立以來，通過產(chǎn)業(yè)經(jīng)營與資本運(yùn)營并舉發(fā)展，已形成了光伏太陽能電池、功率半導(dǎo)體、鋰電池材料、磁性材料、粉末冶金、硬質(zhì)合金、陶瓷金屬化等多行業(yè)發(fā)展的產(chǎn)業(yè)布局。公司立足山東，*，業(yè)務(wù)覆蓋國內(nèi)大部分省市和地區(qū)。

青島微弘擁有十幾年的專業(yè)研發(fā)制造經(jīng)驗(yàn)，產(chǎn)品服務(wù)廣泛應(yīng)用于行業(yè)內(nèi)的大專院校、科研院所、半導(dǎo)體制造、太陽能光伏制造、鋰電池材料制造、高性能磁性材料制造等。核心產(chǎn)品方面，太陽能電池行業(yè)用的擴(kuò)散爐等已達(dá)到國內(nèi)*水平，可以替代進(jìn)口設(shè)備。在功率半導(dǎo)體行業(yè)，成功研制生產(chǎn)真空擴(kuò)散氧化爐、真空合金爐、LPCVD等產(chǎn)品，另外真空熱處理爐、氫氣爐等產(chǎn)品也已得到廣泛的應(yīng)用。       

青島微弘擁有精良的科研、設(shè)計(jì)、制造、服務(wù)團(tuán)隊(duì)，為中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)員單位、國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟會(huì)員單位、中國磁性材料與器件協(xié)會(huì)會(huì)員單位，承接并出色完成了一系列國家重點(diǎn)項(xiàng)目的設(shè)備的設(shè)計(jì)制造，為國家863計(jì)劃等重大科技攻關(guān)項(xiàng)目做出了突出貢獻(xiàn)。       

 公司堅(jiān)持“質(zhì)量是企業(yè)的生命，誠信是立足的根本，服務(wù)是發(fā)展的保障，不斷創(chuàng)新是微弘永恒的追求”的經(jīng)營理念，加快推進(jìn)“高度專業(yè)化” 發(fā)展戰(zhàn)略，致力于實(shí)現(xiàn)員工成長、客戶滿意、企業(yè)發(fā)展、社會(huì)進(jìn)步的多贏。

● 恒溫區(qū)長度：300～1250mm

● 恒溫區(qū)精度：±0.5℃（800～1300℃）

● 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：±0.5℃/24h（800～1300℃）

● 大可控升溫速率：15℃/min

● 大降溫速率：5℃/min

氧化/擴(kuò)散爐