氣氛保護隧道爐

主要應用于電真空、航空航天、電力電子、機械加工等領域?？蓪Σ讳P鋼、無氧銅、金屬化陶瓷件、金屬封接件、玻璃封接件等進行無氧化燒結、焊接、退火及對薄膜、厚膜電路、混膜集成電路等在氫氣、氮氣或氫氮混合氣體的保護下，對工件進行燒結、焊接、封裝等工藝處理。

設備特點

● 本設備為氣氛保護爐，保護氣氛為氫氣、氮氣、氬氣等

● 設備具有連續(xù)工作性，保證生產效率

● *的氣幕簾隔絕設計，確保爐膛內與空氣隔絕

● 全自動的升溫、恒溫、降溫控制系統(tǒng)

● 工藝曲線、氣體流量、帶速實時監(jiān)控、記錄、儲存

● 多溫區(qū)控制爐溫，方便調整工藝曲線

● 鏈帶無級平穩(wěn)調速，無爬行、抖動現象

● 多氣路工藝氣氛，保證工藝應用

● 安全可靠的點火機構，保證廢氫氣及時處理

● 根據客戶需求可配置加濕、氣體預熱等功能

● 根據客戶需求可配置氧含量分析、氫含量分析等功能

● 根據客戶需求可對設備長度、傳動方式、溫區(qū)段數等作出修改

技術指標

● 工作溫度：300～1000℃

● 控溫精度：±2℃

● 爐膛尺寸：100～600mm（定制）

● 降溫方式：循環(huán)水冷卻

● 控溫段數：3～12段

● 升溫時間：90～240min

● 鏈帶結構：網帶式、底滾式、推板式

● 網帶速度：0～500mm／min可調

● 工藝氣體：3～6路H2、N2等工藝氣體

● 升溫功率: 20～120KVA

● 控制方式：手動控制、觸摸屏程序控制、工控機微控

★ 可為用戶量身定制非標準產品

氣氛保護隧道爐

 青島微弘設備技術有限公司（以下簡稱青島微弘）是一家集研發(fā)、生產、銷售為一體的半導體新能源設備、光伏太陽能新能源裝備、材料熱處理設備的綜合性現代企業(yè)，自創(chuàng)立以來，通過產業(yè)經營與資本運營并舉發(fā)展，已形成了光伏太陽能電池、功率半導體、鋰電池材料、磁性材料、粉末冶金、硬質合金、陶瓷金屬化等多行業(yè)發(fā)展的產業(yè)布局。公司立足山東，*，業(yè)務覆蓋國內大部分省市和地區(qū)。

青島微弘擁有十幾年的專業(yè)研發(fā)制造經驗，產品服務廣泛應用于行業(yè)內的大專院校、科研院所、半導體制造、太陽能光伏制造、鋰電池材料制造、高性能磁性材料制造等。核心產品方面，太陽能電池行業(yè)用的擴散爐等已達到國內*水平，可以替代進口設備。在功率半導體行業(yè)，成功研制生產真空擴散氧化爐、真空合金爐、LPCVD等產品，另外真空熱處理爐、氫氣爐等產品也已得到廣泛的應用。       

青島微弘擁有精良的科研、設計、制造、服務團隊，為中國半導體設備行業(yè)協(xié)會會員單位、國家半導體照明工程研發(fā)及產業(yè)聯盟會員單位、中國磁性材料與器件協(xié)會會員單位，承接并出色完成了一系列國家重點項目的設備的設計制造，為國家863計劃等重大科技攻關項目做出了突出貢獻。       

 公司堅持“質量是企業(yè)的生命，誠信是立足的根本，服務是發(fā)展的保障，不斷創(chuàng)新是微弘永恒的追求”的經營理念，加快推進“高度專業(yè)化” 發(fā)展戰(zhàn)略，致力于實現員工成長、客戶滿意、企業(yè)發(fā)展、社會進步的多贏。