半導(dǎo)體微電子潔凈車間化原理： 氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗 → 初效凈化 重復(fù)以上過程。
氣流方式： 頂送風(fēng)，側(cè)下回風(fēng)，具體根據(jù)車間生產(chǎn)工藝確定。
凈化參數(shù)： 凈化參數(shù)需符合聲學(xué)指標(biāo)，光照度指標(biāo)，溫度指標(biāo)，濕度指標(biāo)，空氣壓差指標(biāo)，環(huán)境所需新風(fēng)指標(biāo)等；
結(jié)構(gòu)材料： 墻、頂板材---

半導(dǎo)體微電子潔凈車間

化原理：      氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗 →  初效凈化 重復(fù)以上過程。

氣流方式：      頂送風(fēng)，側(cè)下回風(fēng)，具體根據(jù)車間生產(chǎn)工藝確定。

凈化參數(shù)：      凈化參數(shù)需符合聲學(xué)指標(biāo)，光照度指標(biāo)，溫度指標(biāo)，濕度指標(biāo)，空氣壓差指標(biāo)，環(huán)境所需新風(fēng)指標(biāo)等；

結(jié)構(gòu)材料：      墻、頂板材-------多采用50mm厚的金屬面夾芯板制作，配合潔凈型材，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。

                        地面---------可采用環(huán)氧自流坪地坪、高級(jí)耐磨塑料地板或高架地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

規(guī)劃設(shè)計(jì)：      設(shè)計(jì)前需了解以下資料：1、 項(xiàng)目是改造還是新建項(xiàng)目；2、 項(xiàng)目所位于建筑的結(jié)構(gòu)類型；3、 建筑物層高，板底標(biāo)高、梁底標(biāo)高；4、 水、電、路三通情況如何； 5、 潔凈室的使用功能；6、 生產(chǎn)車間的工藝布置圖，車間人員數(shù)量； 7、設(shè)備的參數(shù)：如外形尺寸、運(yùn)行尺寸、用電功率、用汽、水量，排氣量；對(duì)水、電、汽的要求。

潔凈室構(gòu)成：    1、吊頂、墻體、地面、門窗系統(tǒng)；2. 凈化空調(diào)與通風(fēng)系統(tǒng)；3. 冷熱源系統(tǒng)；4. 照明系統(tǒng)；5. 動(dòng)力系統(tǒng)工程；6. 通信系 統(tǒng)；7. 監(jiān)控管理系統(tǒng)；8. 自動(dòng)化控制系統(tǒng)工程；9. 給排水系統(tǒng)工程；10. 消防系統(tǒng)；11. 工藝管道系統(tǒng)；12. 生產(chǎn)設(shè)備

半導(dǎo)體微電子潔凈車間