詳細(xì)介紹
硅晶片潔凈無塵車間
青島綠叢林空氣凈化工程有限公司是專業(yè)從事潔凈技術(shù)研究、凈化工程的設(shè)計、無塵車間施工、凈化廠房檢測及潔凈技術(shù)人員培訓(xùn)的*。公司憑借多年空氣凈化的專業(yè)經(jīng)驗,在全國各地的徽電子、光磁技術(shù)、生物工程、醫(yī)藥衛(wèi)生、電子器械、精密儀表、航空航天、食品工業(yè)、化妝品工業(yè)、科研教學(xué)等*產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域中,設(shè)計承建了各種不同類型的凈化廠房、無塵車間及無菌室,能夠提供滿足FS209E聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)、GB50073-2001要求和GMP規(guī)格要求的潔凈廠房系統(tǒng)工程設(shè)計、制造、安裝、調(diào)試、檢測等綜合性成套服務(wù)。
本公司嚴(yán)格執(zhí)行ISO9001質(zhì)量體系,從設(shè)計、計劃、工程材料采購到每個制造、安裝工序均有嚴(yán)格的操作程序和規(guī)范,能有效保證工程進度和工程質(zhì)量。根據(jù)工程的特點,結(jié)合ISO9001質(zhì)量管理體系的要求,本公司實施一套完整的售后服務(wù)制度,能提供優(yōu)質(zhì)的一站式、保姆式的售后服務(wù)。
從大的方面來講,光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分,細(xì)分為以下幾道主要工序:
單晶棒生長-單晶棒裁切和檢測-外徑磨削-切片-倒角(圓邊)-研磨/研磨片檢查-蝕刻(化學(xué)蝕刻、LP-CVD+AP-CVD 等工藝)-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光(ML粗拋、ML精拋)-洗凈-品質(zhì)檢查-潔凈包裝
從單晶棒生長到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序,切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。下面以某日資硅片廠為例,介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設(shè)計方案。