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Wafer 熱電偶晶圓測溫系統(tǒng) 測溫點數(shù)可定制 溫度計量儀器

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參考價 999
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌 ZHICE-ELEC/智測電子
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市

在線詢價 收藏產(chǎn)品 加入對比

更新時間:2023-10-30 10:39:35瀏覽次數(shù):405

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產(chǎn)品簡介

測量范圍 0-1200℃ 分類 其他
Wafer 熱電偶晶圓測溫系統(tǒng) 測溫點數(shù)可定制 國內(nèi)晶圓生產(chǎn)線大部門以8英寸和12英寸為主

詳細介紹

Wafer 熱電偶晶圓測溫系統(tǒng)  測溫點數(shù)可定制

配備熱電偶的晶圓概述

晶圓結(jié)構(gòu)配備熱電偶的晶圓對于在半導體生產(chǎn)的高溫處理階段控制器件內(nèi)部的溫度非常重要。這些產(chǎn)品可用于此目的。在半導體生產(chǎn)過程中,有許多步驟,例如氧化和煅燒,都包括高溫處理。熱電偶可以連接到硅片上的多個位置來檢查其溫度。這些可用于準確確認設備內(nèi)部時熱量均勻分布在整個硅片上。



我們通過我們的服務連接到晶圓頂部的熱電偶具有多種特殊功能。它們經(jīng)過處理可抑制灰塵產(chǎn)生,可在清潔環(huán)境中使用。并且特別注意如何連接容易損壞的線,以延長使用壽命。此外,使用極細線熱電偶可以防止爐內(nèi)溫度變化。這些熱電偶不僅可以附著在硅晶圓上,還可以附著在各種物體上,例如 LCD 玻璃基板。此外,它們還可用于真空環(huán)境中的溫度測量。


配了熱電偶晶圓可以實時監(jiān)測晶圓的溫度變化,并提供溫度數(shù)據(jù)供后續(xù)分析和控制。這對于晶圓制造過程中的溫度控制、工藝優(yōu)化和產(chǎn)品質(zhì)量保證非常重要。通過配備熱電偶晶圓,可以及時發(fā)現(xiàn)溫度異常情況,避免對晶圓的損害,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品一致性。


硅片尺寸:2,3,4,5,6,8,12寸等

測溫點數(shù):1-60點

溫度范圍:-200-1200度

數(shù)據(jù)采集系統(tǒng):1-60路

智測電子晶圓溫度測量系統(tǒng),可用于記錄等離子蝕刻工藝環(huán)境對真實工藝條件下生產(chǎn)晶圓的影響。 高精度溫度傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓整體溫度監(jiān)測,這與導體蝕刻工藝的 CD 均勻性控制密切相關。通過測量與產(chǎn)品工藝接近條件下的溫度數(shù)據(jù),可以幫助工藝工程師完成調(diào)整蝕刻工藝條件,驗證及匹配腔體、和PM后的驗證等工作。

晶圓測溫裝置,晶圓測溫熱電偶,晶圓測溫儀,多路晶元測溫系統(tǒng)、TC WAFER 晶圓熱電偶溫度傳感器

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