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技術(shù)文章

氣體質(zhì)量流量計/控制器的結(jié)構(gòu)和工作原理

閱讀:1048          發(fā)布時間:2019-2-12

氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制;氣體質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter縮寫為MFM)用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工,冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。

1、結(jié)構(gòu)

MFM由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器通道機殼等部件組成,只能對氣體質(zhì)量流量進行測量;在MFM基礎(chǔ)上加上調(diào)節(jié)閥構(gòu)成MFC,既可以對氣體質(zhì)量流量進行測量,也能對流量進行控制。

2、工作原理

氣流進入進氣管道街頭后大部分流量流過分流器通道,其中很小一部分進入傳感器內(nèi)部的毛細鋼管。由于分流器通道的特殊結(jié)構(gòu),可以實現(xiàn)這兩部分氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)過預熱加溫,里面的溫度高于進入的氣流溫度,此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理測量這一小部分氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響,將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板,經(jīng)過放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制功能,把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設(shè)定信號進行比較,以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥,使得流量檢測信號與設(shè)定信號相等,這樣便實現(xiàn)了MFC的功能。

北京華旭世紀科技有限公司是一家集設(shè)計、生產(chǎn)、銷售機電設(shè)備、儀器儀表、實驗室設(shè)備為一體的綜合性技術(shù)企業(yè)。北京華旭世紀科技有限公司自主研發(fā)的MFC、MFM具有穩(wěn)定可靠,響應(yīng)時間短,標定精度和重復精度高等特點,安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用,也可配合計算機使用。

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