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導(dǎo)電膜雙電測(cè)電四探針測(cè)試儀

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  • 導(dǎo)電膜雙電測(cè)電四探針測(cè)試儀

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更新時(shí)間:2024-10-07 07:21:56瀏覽次數(shù):94

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導(dǎo)電膜雙電測(cè)電四探針測(cè)試儀

詳細(xì)介紹

適用范圍Widely used:

硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻  半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽(yáng)能電池、電子元器件,導(dǎo)電薄膜(ITO導(dǎo)電膜玻璃等),金屬膜,導(dǎo)電漆膜,蒸發(fā)鋁膜,PCB銅箔膜,

EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率  導(dǎo)電性油漆,導(dǎo)電性糊狀物,導(dǎo)電性塑料,導(dǎo)電性橡膠,導(dǎo)電性薄膜,金屬薄膜,

抗靜電材料, EMI 防護(hù)材料,導(dǎo)電性纖維,導(dǎo)電性陶瓷等

 導(dǎo)電膜雙電測(cè)電四探針測(cè)試儀

功能描述Description:

1. 四探針組合雙電測(cè)量方法

2. 液晶顯示,自動(dòng)測(cè)量,自動(dòng)量程,自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.

3. 集成電路系統(tǒng)、恒流輸出.

4. 選配:PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.

5. 提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇

 導(dǎo)電膜雙電測(cè)電四探針測(cè)試儀

參照標(biāo)準(zhǔn):

1.硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84).

2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針法》.

4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》.

 導(dǎo)電膜雙電測(cè)電四探針測(cè)試儀

雙電組合測(cè)試方法:

利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。

規(guī)格型號(hào)/ model

FT-341

FT-342

FT-343

FT-345

FT-346

FT-347

1.方塊電阻sheet resistance

10-5~2×105Ω/□

10-4~2×105Ω/□

10-3~2×105Ω/□

10-3~2×104Ω /□

10-2~2×105Ω/□

10-2~2×104Ω/□

2.電阻率Resistivity

10-6~2×106Ω-cm

10-5~2×106Ω-cm

10-4~2×106Ω-cm

10-4~2×105Ω-cm

10-3~2×106Ω-cm

10-3~2×106Ω-cm

3.測(cè)試電流Test current

0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,10mA,100mA

1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA

0.1μA.μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA

1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA

0.1μA、1μA、10μA,100µA,1mA,10mA,100mA

1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA

4.電流精度Current

±0.1% accuracy

±0.2%  accuracy

±0.2%  accuracy

±0.3%  accuracy

±0.3%  accuracy

±0.3%  accuracy

5.電阻精度Resistance

≤0.3% accuracy

≤0.3% accuracy

≤0.3% accuracy

≤0.5% accuracy

≤0.5% accuracy

≤0.5% accuracy

6.顯示讀數(shù)display

屏液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率Large screen LCD: Resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity

7.測(cè)試方式

test mode雙電測(cè)量Double electrical measurement

8.電源Power

輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W

9.誤差errors

≤3%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果)

10.選購(gòu)功能choose to buy

選購(gòu)1.pc軟件; 選購(gòu)2.方形探頭; 選購(gòu)3.直線形探頭; 選購(gòu)4.測(cè)試平臺(tái);5.標(biāo)準(zhǔn)電阻.1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test platform

11.測(cè)試探頭test probe

探針間距選購(gòu):1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購(gòu):碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.


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