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微電子行業(yè)用的是哪種水處理設備

閱讀:348          發(fā)布時間:2022-2-16

  微電子行業(yè)由器件和微電子材料等組成,器件和微電子材料細分為外延片、SOI片、硅拋光片、IC制造等,這些器件的生產(chǎn)都需要用到工業(yè)從純水,如生產(chǎn)期間用的純水水質(zhì)不達標,則會直接影響設備的使用壽命,下面了解一下微電子行業(yè)用的是哪種水處理設備?

超純水設備,水處理設備,微電子行業(yè)純水

  首先:
  水的電阻率:按照我國有關用水標準(GB/T11446.1-1997),大規(guī)模集成電路元器件的生產(chǎn)的用水水質(zhì)一般要求電阻率大于18MO-CM。
  溫馨提示:國家的有關用水標準(GB/T11446.1-1997)水的電阻率分為四個等級:四級為電阻率0.5MO-CM、三級電阻率12MO-CM、二級電阻率不低于15MO-CM、一級電導率18MO-CM以上。
  純水脫鹽率:微電子行業(yè)做的器件一般都會使用到電腦、耳機、充電寶、電視機、手機等的電子設備,因此要求純水的脫鹽率應高達99%以上。
  純水樹脂:電子行業(yè)用的純水樹脂要求在95%以上。
  其次:
  超純水設備:采用的是預處理、反滲透技術、edi超純水技術以及后級處理等方法的水處理工藝,可制取出水質(zhì)電阻率0.5~18.2MΩ.CM或以上,
  脫鹽率:edi超純水技術可去除水中99%左右的鹽成分。
  超純水設備可以將水中的導電介質(zhì)、細菌、礦物質(zhì)、膠體物質(zhì)、氣體、微生物等去除至很低程度的水處理設備。
 
  因此微電子行業(yè)的工業(yè)純水是可以用超純水設備制取的。

 

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