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智測(cè)電子 無線 TC -wafer 晶圓測(cè)溫系統(tǒng)

閱讀:319          發(fā)布時(shí)間:2024-7-2

無線TC-WAFER晶圓溫度測(cè)量系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造中扮演著至關(guān)重要的角色,其重要方面可以歸納如下:

晶圓33.jpg

1. 實(shí)時(shí)性

  • 關(guān)鍵性:在半導(dǎo)體制造過程中,溫度變化是影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量的關(guān)鍵因素。

  • 功能實(shí)現(xiàn):無線TC-WAFER測(cè)量系統(tǒng)能夠提供實(shí)時(shí)的溫度數(shù)據(jù),使操作人員能夠及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)設(shè)備的工藝參數(shù),確保制程中的溫度保持在相對(duì)穩(wěn)定的狀態(tài),從而實(shí)現(xiàn)高效高質(zhì)量的生產(chǎn)。

2. 精度和準(zhǔn)確性

  • 重要性:溫度測(cè)量的精度和準(zhǔn)確性對(duì)于工藝參數(shù)的控制和產(chǎn)品質(zhì)量具有重要影響。

  • 技術(shù)特點(diǎn):該系統(tǒng)采用兩塊硅片夾著電路,接觸面更廣,測(cè)量溫度更加準(zhǔn)確。采用溫度IC傳感器,精度可達(dá)±0.1℃/±0.2℃,能夠準(zhǔn)確測(cè)量晶圓表面的溫度。

3. 穩(wěn)定性和可靠性

  • 性能表現(xiàn):無線TC-WAFER晶圓溫度測(cè)量系統(tǒng)具有穩(wěn)定的性能和可靠的工作能力。

  • 續(xù)航與便攜:系統(tǒng)僅需要充電20分鐘,即可實(shí)現(xiàn)連續(xù)工作3小時(shí),且配備便攜式充電盒,支持長(zhǎng)時(shí)間的連續(xù)工作而不會(huì)出現(xiàn)故障或誤差。

4. 無線通信

  • 功能描述:該系統(tǒng)通常具備無線通信功能,通過藍(lán)牙連接主控芯片讀取數(shù)據(jù),將溫度數(shù)據(jù)傳輸?shù)綌?shù)據(jù)采集系統(tǒng)或監(jiān)控中心。

  • 優(yōu)勢(shì):通信系統(tǒng)具有穩(wěn)定的連接和高效的數(shù)據(jù)傳輸能力,便于遠(yuǎn)程監(jiān)控和數(shù)據(jù)管理。

5. 數(shù)據(jù)分析和記錄

  • 功能實(shí)現(xiàn):系統(tǒng)能夠?qū)Σ杉降臏囟葦?shù)據(jù)進(jìn)行分析和記錄,以便后續(xù)的工藝優(yōu)化和質(zhì)量控制。

  • 數(shù)據(jù)呈現(xiàn):通過數(shù)據(jù)采集盒將數(shù)據(jù)生成EXCEL表格進(jìn)行保存,同時(shí)以彩色云圖的形式直觀展示溫度分布狀況,便于用戶理解和分析。

6. 適應(yīng)性

  • 應(yīng)用場(chǎng)景:由于半導(dǎo)體制造工藝的復(fù)雜性和多樣性,無線TC-WAFER晶圓溫度測(cè)量系統(tǒng)需要具備一定的適應(yīng)性,能夠適用于不同工藝條件下的溫度測(cè)量需求。

  • 應(yīng)用實(shí)例:該系統(tǒng)通常應(yīng)用于涂膠顯影設(shè)備、前段刻蝕Front Track Systems、靜電卡盤(ESC)、加熱板Hot Plates、致冷盤Cold Plates、光刻HMDS Chambers等多種半導(dǎo)體設(shè)備中。

7. 安全性

  • 重要性:在半導(dǎo)體制造環(huán)境中,安全性是至關(guān)重要的。

  • 符合標(biāo)準(zhǔn):無線TC-WAFER晶圓溫度測(cè)量系統(tǒng)必須符合相關(guān)的安全標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定,以確保不會(huì)對(duì)工藝操作和人員安全造成任何危害。

  • 晶圓44.jpg

8. 定制性

  • 靈活性:TC-Wafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)支持定制服務(wù),如傳輸通道數(shù)量、測(cè)溫點(diǎn)數(shù)、傳感器引線等均可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制。

  • 應(yīng)用范圍:這使得該系統(tǒng)能夠更廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體制造場(chǎng)景中,滿足不同客戶的特定需求。

無線TC-WAFER晶圓溫度測(cè)量系統(tǒng)以其實(shí)時(shí)性、高精度、高穩(wěn)定性、無線通信、數(shù)據(jù)分析與記錄、適應(yīng)性強(qiáng)、安全性高以及定制性靈活等特點(diǎn),在半導(dǎo)體制造過程中發(fā)揮著重要作用。


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