真空高溫軸承在高真空鍍膜機方面的應(yīng)用

 真空高溫軸承在臥式蒸發(fā)高真空鍍膜機方面的應(yīng)用

高真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

我們詳細介紹真空軸承在蒸發(fā)式高真空鍍膜機上的應(yīng)用，蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長）形成薄膜。 對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且zui終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，zui終形成薄膜。

軸承安裝部位如圖片所示管軸的兩端，內(nèi)部數(shù)十個類似的安裝單元。由于機體內(nèi)溫度較高，普通軸承難以承受數(shù)百攝氏度高溫真空工作環(huán)境，油脂潤滑、石墨潤滑的軸承產(chǎn)品在高溫真空環(huán)境內(nèi)運轉(zhuǎn)過程中會帶來油脂和石墨粉塵的污染，同時軸承短時間報廢，導(dǎo)致產(chǎn)品的生產(chǎn)不合格。

我司所經(jīng)營此款高溫軸承，結(jié)合實際工作環(huán)境，采用高溫自潤滑的工作方式；通過*驗證達到了壽命長，免維護，潔凈度高，不會帶來污染，由此保證該機的正常運轉(zhuǎn)。產(chǎn)品安裝更換簡單，大大的提高了機器的運轉(zhuǎn)時間和效率，減少了機器維護保養(yǎng)得次數(shù)和保養(yǎng)成本。