污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染分子經(jīng)過(guò)等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫離。當(dāng)離子平均能量超過(guò)污染介質(zhì)中化學(xué)鏈結(jié)合能時(shí)，分子鏈段裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場(chǎng)的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能由污染介質(zhì)成分決定發(fā)生的各類(lèi)化學(xué)反應(yīng)，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質(zhì)濃度及共存的介質(zhì)成分。污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過(guò)等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫除。當(dāng)離子平均能量超過(guò)污染介質(zhì)中化學(xué)鍵結(jié)合能時(shí)，分子鏈斷裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場(chǎng)的作用下被收集

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