MKS真空計(jì)901P-42030

產(chǎn)品型號(hào)：901P-42030

關(guān)鍵字：MKS真空計(jì)901P-42030

關(guān)鍵字描述：901P-42030微型Pirani-Piezo負(fù)載鎖定真空傳感器結(jié)合了Piezo和MicroPirani傳感器技術(shù)，與傳統(tǒng)的熱導(dǎo)儀相比，其穩(wěn)定性，可重復(fù)性和響應(yīng)時(shí)間顯著提高。

產(chǎn)品介紹：

901P-42030微型Pirani-Piezo負(fù)載鎖定真空傳感器結(jié)合了Piezo和MicroPirani傳感器技術(shù)，與傳統(tǒng)的熱導(dǎo)儀相比，其穩(wěn)定性，可重復(fù)性和響應(yīng)時(shí)間顯著提高。它具有0.00001-1000 Torr壓力測(cè)量范圍，可進(jìn)行大氣壓切換，并帶有4VCR內(nèi)螺紋接頭。它使用RS485數(shù)字通訊接口設(shè)置傳感器參數(shù)并提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量。901P專為真空負(fù)載鎖內(nèi)的壓力測(cè)量而設(shè)計(jì)。它具有從大氣壓到10 -5的壓力測(cè)量值，可以代替負(fù)載鎖上的多個(gè)壓力測(cè)量設(shè)備r和大氣切換功能。與傳統(tǒng)的負(fù)載鎖設(shè)計(jì)中使用的壓力計(jì)相比，901P的大氣壓力測(cè)量可以通過縮短循環(huán)時(shí)間來提高負(fù)載鎖性能，并防止負(fù)載鎖被大氣污染。901P結(jié)合了壓力測(cè)量和差壓測(cè)量技術(shù)，以提供性能和功能。與氣體無(wú)關(guān)壓力測(cè)量值，范圍從50 -1000 Torr，比導(dǎo)熱系數(shù)傳感器提高了準(zhǔn)確性。與傳統(tǒng)的Pirani壓力計(jì)不同，MicroPirani中的傳感器元件是由一個(gè)1平方毫米的硅芯片制成的，因此可以在很小的體積內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。由于采用了MicroPirani技術(shù)，901P可以讀取低至10 -5的壓力比標(biāo)準(zhǔn)的皮拉尼傳感器低二十年的托爾。傳感器設(shè)計(jì)使對(duì)流的影響小化，隨后901P可以以任何方向安裝而不會(huì)影響精度。901P還具有1VDC / decade的模擬壓力輸出，可以將其連接到外部模擬設(shè)備以進(jìn)行壓力讀數(shù)或控制?？梢酝ㄟ^數(shù)字用戶界面選擇其他模擬輸出和曲線?？蛇x的輔助模擬輸出用于提供壓差測(cè)量。901P多具有三個(gè)機(jī)械繼電器，可用于過程控制，例如互鎖隔離閥和真空泵。每個(gè)設(shè)定點(diǎn)都可以分配給差分壓電測(cè)量或組合MicroPirani/壓電測(cè)量。

參數(shù)：

絕對(duì)測(cè)量范圍：1.0 x 10 -5至1500

差分測(cè)量范圍：-760至+760

類型：真空傳感器

界面：RS485 /模擬

設(shè)定點(diǎn)范圍：5.0 x 10 -4托至1000托 差分：-760至100托

標(biāo)定氣體：空氣，氬氣，氦氣，氮?dú)猓?/span>H2，H2O蒸氣，CO2，氙氣，氖氣

工作溫度：0-40°C（32-104°F）

烘烤溫度（max.）：85°C（185°F）

模擬量輸出:1-9 VDC

模擬輸出分辨率:16位

壓電微分零穩(wěn)定性滿量程的±0.1％（滿量程= 760托）

超壓極限1500托

電子套管和法蘭304不銹鋼

模擬輸出2分辨率12位

數(shù)字波特率4800-230400波特