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臭氧滅菌屬于生物化學(xué)氧化反應(yīng)，臭氧氧化分解了細(xì)菌內(nèi)部氧化葡萄糖所必須的酶；也可直接與細(xì)菌、病毒發(fā)生作用，破壞其細(xì)胞壁和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白質(zhì)、脂質(zhì)類和多糖等大分子聚合物，使細(xì)菌的物質(zhì)代謝生長和繁殖過程遭到破壞；還可以滲透胞膜組織，侵入細(xì)胞膜內(nèi)作用于外膜脂蛋白和內(nèi)部的脂多糖，使細(xì)胞發(fā)生通透性畸變，導(dǎo)致細(xì)胞的溶解死亡，并且將死亡菌體內(nèi)的遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、支原體及熱原（細(xì)菌病毒代謝產(chǎn)物、內(nèi)毒素）等溶解變性滅亡。縱觀無菌技術(shù)對(duì)微生物作用的原理可分為抑菌、滅菌和溶菌三種，應(yīng)用臭氧作滅菌劑是屬于溶菌。