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東莞市雅之雷德機(jī)電科技有限公司

主營(yíng)產(chǎn)品： 旋片真空泵,羅茨真空泵,螺桿真空泵,活塞真空泵,雙級(jí)旋片真空泵

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好凱德真空泵在半導(dǎo)體制造業(yè)中的運(yùn)用

2017-1-6　　閱讀(123)

在半導(dǎo)體制造業(yè)中有很多種不同的進(jìn)口真空泵。雅之雷德機(jī)電把它們分成兩類:初級(jí)泵和真空泵。初級(jí)泵有幾種用途:在腔內(nèi)創(chuàng)造近似中級(jí)真空(壓力小于10-3托);清空多腔集成設(shè)備中接收硅片的區(qū)域(如真空鎖);為真空泵抽氣.真空泵用來獲得壓力范圍10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片廠中使用的好凱德真空泵是干性的，意味著其內(nèi)部沒有任何可能回流到工藝腔中沾污硅片的油或潤(rùn)滑劑。

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