鄭州科佳電爐有限公司
主營產(chǎn)品: 箱式馬弗爐,管式爐,氣氛爐等 |
鄭州科佳電爐有限公司
主營產(chǎn)品: 箱式馬弗爐,管式爐,氣氛爐等 |
參考價 | 面議 |
聯(lián)系方式:范經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時間:2022-01-21 15:03:01瀏覽次數(shù):156
聯(lián)系我們時請說明是食品機械設備網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)品介紹:
PECVD系統(tǒng)由管式爐,真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。系統(tǒng)主要應用于金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,石墨烯等生長。PECVD系統(tǒng)增加功能容易,可擴展等離子清洗刻蝕等功能,PECVD系統(tǒng)薄膜沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高等優(yōu)點。
PECVD系統(tǒng)主要特點:
1.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。
2.通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
3.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。
4.可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。
5.廣泛應用于:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。
應用范圍:
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。
設備主要技術參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 高真空PECVD設備(CE認證) |
滑軌管式爐部分 | |
產(chǎn)品型號 | KJ-T1200-S5030-H |
爐管尺寸 | Φ50mmX1600mm |
爐管材質(zhì) | 石英管 |
加熱區(qū) | 300mm |
工作溫度 | 1100℃ |
溫度 | 1200℃ |
溫控方式 | K型熱電偶 |
控制方式 | 觸屏控制,帶獨立搖臂,可以根據(jù)實際使用需求,調(diào)節(jié)溫控屏的角度,使用更方便 |
控溫精度 | ±1℃ |
溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
升溫速率 | 0-20ºC/min ,建議10ºC/min |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制) |
加熱功率 | 3KW |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
爐體結構 | 爐體帶滑軌,可實現(xiàn)快速升溫和降溫 |
法蘭接頭 | 標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好。 |
殼體 | 不銹鋼殼體 |
選配 | 輔助降溫風扇 |
真空系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 真空系統(tǒng) |
主要參數(shù) | 1.采用進口安捷倫高真空分子泵組,極限真空度可達10-3pa 2.KF25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連; 3.數(shù)字式真空顯示,其測量范圍為5×10-5- 1500mbar,測量精度高高 |
氣路系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 四路質(zhì)量流量計 |
主要參數(shù) | 四通道精密質(zhì)量流量計:觸屏控制,數(shù)字顯示,自動控制。流量范圍流量范圍: 1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可調(diào) 2.一個混氣罐 3.4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動控制4種氣體; 4.進出氣口:3進1出 流量控制:手動旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié) 連接方式:雙卡套連接 |
等離子電源部分 | |
名稱 | 500W等離子電源 |
功率范圍 | 0-500W(連續(xù)可調(diào)) |
工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
工作模式 | 連續(xù)輸出 |
射頻輸出阻抗接口 | N-type,female(50Ω) |
功率穩(wěn)定度 | ≤2W |
反射功率 | 70W |
電源保護設置 | DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護 |
供電電壓/頻率 | 單相交流(187V-253V)50-60HZ |
冷卻方式 | 風冷 |
整機尺寸 | 88X483X550 MM |
整機重量 | 13.5KG |
認證 | *、CE認證 |
售后服務 | 質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍) |
1、我公司對所供設備提供質(zhì)保一年保修服務(易損件除外),在保修期內(nèi)因設備質(zhì)量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。