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鄭州科佳電爐有限公司

主營產(chǎn)品: 箱式馬弗爐,管式爐,氣氛爐等

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公司信息

聯(lián)人:
范經(jīng)理
址:
高新區(qū)玉蘭街55號
編:
450000
鋪:
http://www.hg0881.cn/st156132/
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KJ-T1200-S5030-H高真空PECVD設備
高真空PECVD設備
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 KJ-T1200-S5030-H
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地

聯(lián)系方式:范經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-01-21 15:03:01瀏覽次數(shù):156

聯(lián)系我們時請說明是食品機械設備網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

【簡單介紹】
產(chǎn)品介紹:PECVD系統(tǒng)由管式爐,真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成
【詳細說明】

產(chǎn)品介紹:

PECVD系統(tǒng)由管式爐,真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。系統(tǒng)主要應用于金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,石墨烯等生長。PECVD系統(tǒng)增加功能容易,可擴展等離子清洗刻蝕等功能,PECVD系統(tǒng)薄膜沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高等優(yōu)點。

PECVD系統(tǒng)主要特點:

1.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。
2.通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
3.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。
4.可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。

5.廣泛應用于:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

應用范圍:

    PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。

設備主要技術參數(shù):

產(chǎn)品名稱

高真空PECVD設備(CE認證)

滑軌管式爐部分

產(chǎn)品型號

KJ-T1200-S5030-H

爐管尺寸

Φ50mmX1600mm

爐管材質(zhì)

石英管

加熱區(qū)

300mm

工作溫度

1100℃

溫度

1200℃

溫控方式

K型熱電偶

控制方式

觸屏控制,帶獨立搖臂,可以根據(jù)實際使用需求,調(diào)節(jié)溫控屏的角度,使用更方便

控溫精度

±1℃

溫控保護

具有超溫和斷偶保護功能

升溫速率

0-20ºC/min  ,建議10ºC/min

加熱元件

含鉬電阻絲

工作電壓

AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)

加熱功率

3KW

爐膛材料

氧化鋁多晶纖維

爐體結構

爐體帶滑軌,可實現(xiàn)快速升溫和降溫

法蘭接頭

標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥

密封系統(tǒng)

該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好。

殼體

不銹鋼殼體

選配

輔助降溫風扇

                     真空系統(tǒng)部分

名稱

真空系統(tǒng)

主要參數(shù)

1.采用進口安捷倫高真空分子泵組,極限真空度可達10-3pa

2.KF25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連;

3.數(shù)字式真空顯示,其測量范圍為5×10-5- 1500mbar,測量精度高高

氣路系統(tǒng)部分

名稱

四路質(zhì)量流量計

主要參數(shù)

四通道精密質(zhì)量流量計:觸屏控制,數(shù)字顯示,自動控制。流量范圍流量范圍:

1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可調(diào)

2.一個混氣罐

3.4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動控制4種氣體;

4.進出氣口:3進1出

流量控制:手動旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié)

連接方式:雙卡套連接

等離子電源部分

名稱

500W等離子電源

功率范圍

0-500W(連續(xù)可調(diào))

工作頻率

13.56MHZ+0.005%

工作模式

連續(xù)輸出

射頻輸出阻抗接口

N-type,female(50Ω)

功率穩(wěn)定度

≤2W

反射功率

70W

電源保護設置

DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護

供電電壓/頻率

單相交流(187V-253V)50-60HZ

冷卻方式

風冷

整機尺寸

88X483X550 MM

整機重量

13.5KG

認證

*、CE認證

售后服務

質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍)

 

 

 

 1、我公司對所供設備提供質(zhì)保一年保修服務(易損件除外),在保修期內(nèi)因設備質(zhì)量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。

 

 



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