真空開(kāi)關(guān)真空度測(cè)試儀（英文名稱(chēng)：Vacuum Switch Vacuum Degree Tester 或 Vacuum Tester），主要用于定量測(cè)量各種型號(hào)真空開(kāi)關(guān)滅弧室內(nèi)的真空度， 它以單片計(jì)算機(jī)為主控單元，測(cè)試過(guò)程*實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，在原理上改變了國(guó)內(nèi)外同類(lèi)產(chǎn)品采用電流峰值做標(biāo)定的方法，而采用離子電荷來(lái)做標(biāo)定，有效地抑制了測(cè)試過(guò)程中脈沖電源的干擾，使測(cè)試更為穩(wěn)定可靠。

ZKY-2000型真空度測(cè)試儀ZKY-2000型

一、主要特點(diǎn)

★基于電離電荷的采樣技術(shù)
ZKY-2000型真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我廠專(zhuān)家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此，我廠*了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。

★漏電電流的處理
對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí)，會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性，并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無(wú)論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。
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二、技術(shù)參數(shù)

▲測(cè)量范圍： 1*10-5～1*10-1pa
▲測(cè)量誤差： l*l0-4～1*l0-1pa中誤差<5%
▲測(cè)量分辨率： 10-5pa
▲允許環(huán)溫： O℃～55℃
▲空氣濕度： <85%RH
▲電 源： AC220士10%
▲外型尺寸： 430X300X235mm
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