概述：AST2800是一款用高強(qiáng)度可見光加熱單片wafer或樣片的快速退火系統(tǒng)，其工藝時(shí)間短，控溫精度高。工藝穩(wěn)定時(shí)間可設(shè)置到9999秒，一般推薦1-600秒。