測量范圍1nm-300nm測量Z小值≤1nm入射角30°-90°誤差≤0.1°偏振器方位角讀數(shù)范圍0°-180°度盤刻度每格2度游標(biāo)Z小讀數(shù)0.05°光學(xué)中心高度152工作臺直徑φ70外形尺寸730*230*290主機(jī)重量20kg