無塵室(CleanRoom)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作