簡(jiǎn)要描述：GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的較簡(jiǎn)單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。本機(jī)特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)安裝了三個(gè)靶，旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此