525系列-表面粗糙度和輪廓測量儀特點：表面粗糙度測量功能：高分辨力型Z1軸檢出器作為標(biāo)準(zhǔn)件提供。Z1軸的Z高顯示分辨力為0.0001μm（測量范圍為8μm時）。X軸內(nèi)置高精度玻璃光柵尺，直接讀取X軸移動距離，在搞精度精準(zhǔn)定位下，完成間距參數(shù)的評價。檢出器測力有4mN和0.75mN可選。