1400℃真空氣氛爐以優(yōu)質(zhì)硅碳棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫系統(tǒng)，移相觸發(fā)、可控硅控制，氣氛爐爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料，真空氣氛爐雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，能快速升降溫，采用外殼整體密封，