SL-1200X是一款小型的雙爐體滑動(dòng)管式爐，爐管為Φ50×1600mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器溫度可以達(dá)到1200℃。兩個(gè)爐體可在雙向?qū)е壣匣瑒?dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華，及薄膜沉積。通過(guò)爐體的滑動(dòng)可實(shí)現(xiàn)