超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的結(jié)構(gòu)經(jīng)過(guò)特別優(yōu)化，具有大的空氣承載表面，提供*的剛度和負(fù)載能力，不僅具有極小的軸向和徑向運(yùn)動(dòng)誤差，還有小化的角擺誤差。