低膨脹增量式銦鋼直線光柵尺用ZeroMet?（一種低膨脹鎳/鐵合金）制造的銦鋼柵尺，具有20µm柵距的增量式刻線。它可與精細柵距的玻璃柵尺媲美，在1.5m長度內(nèi)的總體精度（包括斜率誤差和線性誤差）優(yōu)于±1.5&#