日本TOFCO東富科流量控制閥藥液純水用FCV-C80從外部流量計(jì)接收當(dāng)前流量信息并自動(dòng)控制設(shè)定流量。非常適合控制半導(dǎo)體清洗設(shè)備中化學(xué)品和純水的流速。將設(shè)定值與外部流量信號(hào)進(jìn)行比較實(shí)施反饋控制使用高性能步進(jìn)電機(jī)對(duì)流量進(jìn)行高精度控制搭載串行通信功能(MobusRTU方式，*大32臺(tái)串聯(lián))設(shè)定流量值方式可選擇(模擬量輸入或串口通信)高速的控制反應(yīng)性能(C40型號(hào):約1秒、C60/C80約2秒)高