半導(dǎo)體微電子潔凈車(chē)間化原理：氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆?！仫L(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過(guò)程。氣流方式：頂送風(fēng)，側(cè)下回風(fēng)，具體根據(jù)車(chē)間生產(chǎn)工藝確定。凈化參數(shù)：凈化參數(shù)需符合聲學(xué)指標(biāo)，光照度指標(biāo)，溫度指標(biāo)，濕度指標(biāo)，空氣壓差指標(biāo)，環(huán)境所需新風(fēng)指標(biāo)等；結(jié)構(gòu)材料：墻、頂板材---