萬(wàn)級(jí)無(wú)塵棚潔凈棚：采用工業(yè)鋁材（或不銹鋼方通、鐵方通噴塑）作為框架，風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組（FFU）送風(fēng)，四周懸掛防靜電垂簾（或鋼化玻璃），其內(nèi)部?jī)艋?jí)別可達(dá)到100-10000級(jí)。適用于操作區(qū)內(nèi)局部?jī)艋?jí)別要求高的區(qū)域。