碳化硅廢液回收有多晶硅、碳化硅的顆粒，以及銅、鐵、鋅離子，還有在切割過程中產(chǎn)熱導致的大分子類色素，由于經(jīng)多次使用后成分發(fā)生變化，無法再上線重新利用。多晶硅、碳化硅、聚乙二醇都是具有經(jīng)濟價值*的副產(chǎn)品，