簡要描述：OLED顯微鏡是利用金屬光激發(fā)OLED自主發(fā)光后測量OLED蒸鍍尺寸和偏移等缺陷的顯微鏡。影像量測著重于精準(zhǔn)度，系統(tǒng)底座采用鑄件/花崗石本體結(jié)構(gòu)，減震系統(tǒng)克服環(huán)境震動問題，可解決高倍率解析時的震動問題。