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INFICON分析儀氣體分析儀殘余氣體分析儀持續(xù)升高的硅晶圓價(jià)格和成品需求意味著損壞晶圓的代價(jià)比以前更高。因此,在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)缺陷也變得更加重要。TranspectorMPH氣體分析系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)*的性能,有助于Z大限度地提高芯片產(chǎn)量,降低工具停工時(shí)間。TranspectorMPH兼具較低總體擁有成本和較長(zhǎng)故障平均間隔時(shí)間
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