μscan系列機臺采用模塊化設(shè)計，特點是快速測量、不接觸、不破壞、自動化。主要應(yīng)用于材料表面的三維輪廓測量，粗糙度測量，寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析。能直接測量較大面積的樣品，而不用