超小型臺(tái)式涂布自動(dòng)手可對(duì)應(yīng)小批量生產(chǎn)方式、高精度涂布自動(dòng)手可對(duì)應(yīng)99種編程頻道重復(fù)定位精度為±0.01mm／分辨率（Z小移動(dòng)范圍）0.0125mmZ大移動(dòng)速度800mm/sec.(X,Y軸)動(dòng)作范圍200×200mm實(shí)現(xiàn)了3次元直線、圓弧插補(bǔ)控