解決問題超聲波傳感器助力監(jiān)測半導體純水儲存罐液位

2021-11-03 08:43:54 來源：儀表網(wǎng) 閱讀量：6285

　　伴隨著芯片的集成度越來越高，半導體制造的先進程度也逐漸提升。在芯片半導體的生產(chǎn)加工過程中要不斷用水清洗，對水質(zhì)的純度要求特別高，要求達到ppb級別，所以為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路，除高純原材料、高純氣體、高純化學藥品外，超純水也是其中非常關鍵的因素之一。

　　半導體包括芯片，存儲器等產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中需要經(jīng)歷上百道清洗程序，而為保證半導體精度，其工藝技術中要求用到純水清洗，清洗所需的超純水必須達到電子級，為了避免其中混入雜質(zhì)，而影響半導體產(chǎn)品功能，進而影響半導體產(chǎn)品的性能及壽命。

　　超聲波傳感器恰恰解決了這個問題，超聲波傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸測量，不僅做到非接觸測量，減少二次污染，還有超聲波傳感器特有的自適應功能及濾波功能，達到精準的液位檢測。

　　因此對工業(yè)清洗半導體的純水主要儲存在其內(nèi)部的儲水罐中對于其液位的控制非常重要，要求純水的液位高度保持恒定。而且是透明的特殊這一特性，其它的傳感器也很難做到如此有效精確檢測。

　　半導體生產(chǎn)線儲水罐里面的原料是純水，透明且不帶導電性，要求無污染，還要求傳感器要做到精確檢測；除此之外存放純水的儲水罐是個封閉的容器，有些儲水罐里面帶有攪拌機構以及進水泵和出水泵，導致其液位或者料位在攪拌的過程中會波動，這也為準確測量液位或料位帶來困難。

　　利用超聲波傳感器實時監(jiān)控液位的高度，以此來保持儲水罐的水位高度恒定，從而跟進純水的特性。

　　關于超聲波傳感器

　　超聲波傳感器是將超聲波信號轉(zhuǎn)換成其他能量信號(通常是電信號)的傳感器。超聲波是振動頻率高于20kHz的機械波。它具有頻率高、波長短、繞射現(xiàn)象小，特別是方向性好、能夠成為射線而定向傳播等特點。超聲波對液體、固體的穿透本領很大，尤其是在陽光不透明的固體中。超聲波碰到雜質(zhì)或分界面會產(chǎn)生顯著反射形成反射回波，碰到活動物體能產(chǎn)生多普勒效應。

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