CCD型電動(dòng)超高真空插板閥是通過電動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)閥桿帶動(dòng)閥板作上下運(yùn)動(dòng),達(dá)到閥門的開啟或關(guān)閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。
帶反饋信號(hào)裝置。
主要技術(shù)性能
主要零件材料 適用范圍:Applicability 105~1.3×10-7Pa 閥門漏率:Valve Leak Rate ≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200)
≤6.7×10-7Pa.L/S.(DN≥250) 適用溫度:Applicable Temperature -30~+150℃ 閥門開啟時(shí)閥板兩側(cè)的壓差:
The differential pressure between the two sides of valve disc upon valve opening: ≤2.7×103Pa. 電源:Valve of power 220V/50Hz
閥體、閥板:不銹鋼
密封件:氟橡膠、波紋管(軸封)、丁腈橡膠。