CN三座標(biāo)非接觸測量顯微鏡
本儀器所使用的影像測量技術(shù)、圖像處理技術(shù)、
自動識辨物體焦面位置和自動尋找物體亞象素邊界。 優(yōu)質(zhì)運(yùn)動控制器和圖像傳感器，保證高品質(zhì)圖像質(zhì)量和工作臺的低噪音平穩(wěn)運(yùn)動。 X、Y、Z軸全部電機(jī)閉環(huán)控制運(yùn)動，Z軸裝有粗微調(diào)焦手輪調(diào)節(jié)以適應(yīng)測量工件高度要求。多種形位尺寸（幾何元素）測量，點、線、面、圓、橢圓、球面及其幾何元素間的關(guān)系，圓度、球度、平面度等形狀公差，平行度、垂直度等位置公差。平面定義與自動三維采點測量，按國標(biāo)GB11337-98的各種方法自動進(jìn)行平面度誤差檢測。 提供測量編程指令，具有自學(xué)習(xí)編程功能，自動批量快速測量，大大提高檢測效率。
人性化方便的運(yùn)動控制和多種方式的測量功能，編程和自學(xué)習(xí)，成倍提高測量效率。 系統(tǒng)提供多達(dá)20個機(jī)械坐標(biāo)和工件坐標(biāo)。 無需轉(zhuǎn)臺，實時非接觸測量物體的高度、距離、角度等參數(shù)。 無需傾斜臺，對物體基準(zhǔn)面進(jìn)行數(shù)學(xué)找正，避免物理找正的煩瑣。 提供強(qiáng)大的數(shù)理統(tǒng)計分析和數(shù)據(jù)庫功能：統(tǒng)計參數(shù)計算，正態(tài)、歷史、直方圖、X2、T、F分布，X2、T、F檢驗，單因素方差分析和相關(guān)性檢驗等。 輸出結(jié)果形式多樣，可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等應(yīng)用軟件使用。 幾何形狀測量與構(gòu)造實時圖形的直觀顯示，利于測量檢查。 提供在線幫助功能，操作簡便，易學(xué)易用。
技術(shù)參數(shù)
| 工作臺行程 | 標(biāo)配：X=150mm, Y=150mm, Z=100mm |
| 選配：X: 100mm～400mm;Y: 100mm～200mm;Z: 100mm-150mm | |
| 光學(xué)尺分辨率 | 標(biāo)配：0.001mm閉式; 選配：0.0005mm閉式,0.0001mm開式 |
| 重復(fù)定位精度 | X,Y,Z: ≤ |
| 重復(fù)調(diào)焦精度（倍率大于150X） | ≤ |
| 系統(tǒng)不確定度 | 分辨率為0.001mm時：X,Y: （3.0+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm |
| 分辨率為0.0005mm時：X,Y: （1.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm | |
| 分辨率為0.0001mm時：X,Y: （0.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm |
儀器配置
| 部件名稱 | 規(guī)格（標(biāo)配） | 選件 | 備注 | ||
| CCD工業(yè)攝像頭 | 彩色CCD（1/2”） | 黑白CCD（1/2”） | 復(fù)合或標(biāo)準(zhǔn)視頻 | ||
| 工業(yè)顯微鏡 | 連續(xù)變倍：1:10 1.5X物鏡 （50～500X） | 連續(xù)變倍：0.7-4.5X; 工業(yè)內(nèi)照明高倍率長工作距顯微鏡，物鏡倍率：3X～100X | C-Mount接口 | ||
| 計算機(jī)系統(tǒng) | 商用PC，98/2000/XP | 工業(yè)控制機(jī) ,彩色噴墨打印機(jī) | | ||
| 測量控制軟件 | TDYMS V60CNC | | | ||
| 底座 | 花崗石00級 | | | ||
| 照明光源 | 透 6V20W，反21V150W可調(diào)鹵素?zé)?/span> | 外接照明 | | ||
| 工作臺行程 （測量范圍） | X: | X:100 Z:100 | Z軸帶有粗微調(diào)機(jī)構(gòu),以滿足不同高度工件的測量 （ | ||
| 驅(qū)動方式 | X、Y、Z：CNC電動 | JOG控制盒 | | ||
| 驅(qū)動電機(jī) | 三相步進(jìn)電機(jī) | 伺服電機(jī) | | ||
