中圖儀器NS系列半導(dǎo)體臺(tái)階高度測(cè)量?jī)x器是一款專(zhuān)為高精度微觀形貌測(cè)量設(shè)計(jì)的超精密接觸式儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、MEMS、光學(xué)加工等領(lǐng)域。通過(guò)2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作，結(jié)合亞埃級(jí)分辨率（5 ?）與智能化分析軟件，可精準(zhǔn)測(cè)量臺(tái)階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等參數(shù)）、膜層厚度及應(yīng)力分布，為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
NS系列臺(tái)階儀實(shí)物圖：緊湊設(shè)計(jì)，高效集成
核心優(yōu)勢(shì)
1. 超高精度與穩(wěn)定性
亞埃級(jí)分辨率：采用線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），重復(fù)性達(dá)5 ?（330μm量程），確保納米級(jí)數(shù)據(jù)可靠性。
超低噪聲信號(hào)采集：集成超精密位移臺(tái)與標(biāo)定算法，適應(yīng)實(shí)驗(yàn)室及工業(yè)環(huán)境，抗振動(dòng)干擾能力強(qiáng)。
2. 多功能智能測(cè)量
多模式覆蓋：支持單區(qū)域、多區(qū)域陣列掃描及3D面掃描，一鍵生成三維輪廓圖，滿足復(fù)雜形貌分析需求。
SPC統(tǒng)計(jì)分析：批量樣品數(shù)據(jù)自動(dòng)生成趨勢(shì)圖表，助力工藝過(guò)程監(jiān)控與優(yōu)化。
3. 高效操作與靈活適配
磁吸式快速換針：無(wú)需工具即可更換測(cè)針（標(biāo)配2μm金剛石針），支持330μm與1050μm量程自由切換。
雙導(dǎo)航光學(xué)影像：500萬(wàn)像素高清相機(jī)（NS200-D型號(hào)）提供正視/斜視雙視角，精準(zhǔn)定位掃描路徑，降低人為誤差。
大尺寸兼容性：NS系列半導(dǎo)體臺(tái)階高度測(cè)量?jī)x器電動(dòng)X/Y平臺(tái)（150mm×150mm）搭配8英寸晶圓載物臺(tái)，適配半導(dǎo)體晶圓、光伏基板等大尺寸樣品。
磁吸式測(cè)針（330μm量程）：操作便捷，維護(hù)高效
行業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造：沉積/蝕刻薄膜厚度測(cè)量、CMP工藝表面平整度檢測(cè)、抗蝕劑臺(tái)階高度分析。
光伏與顯示面板：太陽(yáng)能涂層膜厚、AMOLED屏微結(jié)構(gòu)、觸控面板銅跡線測(cè)量。
MEMS與微納材料：微型傳感器形貌表征、柔性電子器件薄膜厚度檢測(cè)。
科研與高校：材料表面應(yīng)力分析、微加工工藝研發(fā)數(shù)據(jù)支撐。
部分技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | NS200 |
| 測(cè)量技術(shù) | 探針式表面輪廓測(cè)量技術(shù) |
| 探針傳感器 | 超低慣量，LVDC傳感器 |
| 平臺(tái)移動(dòng)范圍X/Y | 電動(dòng)X/Y(150mm*150mm)(可手動(dòng)校平) |
| 樣品R-θ載物臺(tái) | 電動(dòng)，360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) |
| 單次掃描長(zhǎng)度 | 55mm |
| 樣品厚度 | 50mm |
| 載物臺(tái)晶圓尺寸 | 150mm（6吋）,200mm（8吋） |
| 尺寸（L×W×H）mm | 640*626*534 |
| 重量 | 40kg |
| 儀器電源 | 100-240 VAC，50/60 Hz，200W |
使用環(huán)境
相對(duì)濕度：濕度 （無(wú)凝結(jié)）30-40% RH
溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)
地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）
音頻噪音：≤80dB
空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）
懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。
如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。
