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半導(dǎo)體臺階高度測量儀器

參考價 600000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品       牌中圖儀器CHOTEST
  • 型       號NS200
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2025/3/31 15:53:47
  • 訪問次數(shù)43
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食品機械設(shè)備網(wǎng)采購部電話:13777369734

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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。


圖片1500.jpg

中圖儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),擁有一支集光、機、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團隊,歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐,研發(fā)出了基礎(chǔ)計量儀器、常規(guī)尺寸光學(xué)測量儀器、微觀尺寸光學(xué)測量儀器、大尺寸光學(xué)測量儀器、常規(guī)尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業(yè)應(yīng)用檢測設(shè)備等全尺寸鏈精密儀器及設(shè)備,能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。


中圖儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點遍及全國三十多個省、市、自治區(qū),產(chǎn)品遠銷歐、美、東南亞等海外市場,堅持為客戶提供高質(zhì)量的產(chǎn)品和服務(wù)。


中圖儀器還將繼續(xù)專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展,自強不息、知難而上、勇于創(chuàng)新,為中國制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻力量!

一鍵式測量儀,影像測量儀,輪廓測量儀,激光干涉儀,激光跟蹤儀,機床側(cè)頭,圖像尺寸測量儀,白光干涉儀
NS系列半導(dǎo)體臺階高度測量儀器電動X/Y平臺(150mm×150mm)搭配8英寸晶圓載物臺,適配半導(dǎo)體晶圓、光伏基板等大尺寸樣品。可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
半導(dǎo)體臺階高度測量儀器 產(chǎn)品信息

中圖儀器NS系列半導(dǎo)體臺階高度測量儀器是一款專為高精度微觀形貌測量設(shè)計的超精密接觸式儀器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、MEMS、光學(xué)加工等領(lǐng)域。通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級分辨率(5 ?)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。

半導(dǎo)體臺階高度測量儀器

NS系列臺階儀實物圖:緊湊設(shè)計,高效集成


核心優(yōu)勢

1. 超高精度與穩(wěn)定性

亞埃級分辨率:采用線性可變差動電容傳感器(LVDC),重復(fù)性達5 ?(330μm量程),確保納米級數(shù)據(jù)可靠性。

超低噪聲信號采集:集成超精密位移臺與標定算法,適應(yīng)實驗室及工業(yè)環(huán)境,抗振動干擾能力強。

2. 多功能智能測量

多模式覆蓋:支持單區(qū)域、多區(qū)域陣列掃描及3D面掃描,一鍵生成三維輪廓圖,滿足復(fù)雜形貌分析需求。

SPC統(tǒng)計分析:批量樣品數(shù)據(jù)自動生成趨勢圖表,助力工藝過程監(jiān)控與優(yōu)化。

3. 高效操作與靈活適配

磁吸式快速換針:無需工具即可更換測針(標配2μm金剛石針),支持330μm與1050μm量程自由切換。

雙導(dǎo)航光學(xué)影像:500萬像素高清相機(NS200-D型號)提供正視/斜視雙視角,精準定位掃描路徑,降低人為誤差。

大尺寸兼容性:NS系列半導(dǎo)體臺階高度測量儀器電動X/Y平臺(150mm×150mm)搭配8英寸晶圓載物臺,適配半導(dǎo)體晶圓、光伏基板等大尺寸樣品。

半導(dǎo)體臺階高度測量儀器

磁吸式測針(330μm量程):操作便捷,維護高效


行業(yè)應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造:沉積/蝕刻薄膜厚度測量、CMP工藝表面平整度檢測、抗蝕劑臺階高度分析。

光伏與顯示面板:太陽能涂層膜厚、AMOLED屏微結(jié)構(gòu)、觸控面板銅跡線測量。

MEMS與微納材料:微型傳感器形貌表征、柔性電子器件薄膜厚度檢測。

科研與高校:材料表面應(yīng)力分析、微加工工藝研發(fā)數(shù)據(jù)支撐。

半導(dǎo)體臺階高度測量儀器

部分技術(shù)參數(shù)

型號NS200
測量技術(shù)探針式表面輪廓測量技術(shù)
探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
樣品R-θ載物臺電動,360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
單次掃描長度55mm
樣品厚度
50mm
載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環(huán)境

相對濕度:濕度 (無凝結(jié))30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)

音頻噪音:≤80dB

空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

關(guān)鍵詞:測量儀器 傳感器
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