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日本KOFLOC小島-全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器MODEL DF-550C SERIES

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)
  • 更新時間2025/3/12 12:01:48
  • 訪問次數(shù)20
產(chǎn)品標簽:

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日本KOFLOC小島-全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器MODEL DF-550C SERIES全屬數(shù)字鋟流控制器MODEL DF-550C SERIES高性能數(shù)字MFCDF-250C系列的全金屆型號DF.550C發(fā)布!金屬密封結(jié)構(gòu)可以測量和控制半導(dǎo)體工藝氣體和其他病蝕性氣體。DF350DF300DF200DF250DF-550C標準規(guī)范傳感器方式熱繞組傳感器
日本KOFLOC小島-全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器MODEL DF-550C SERIES 產(chǎn)品信息

日本KOFLOC小島-全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器MODEL DF-550C SERIES

全屬數(shù)字鋟流控制器

MODEL DF-550C SERIES

高性能數(shù)字MFC"DF-250C系列"的全金屆型號"DF.550C"發(fā)布!

金屬密封結(jié)構(gòu)可以測量和控制半導(dǎo)體工藝氣體和其他病蝕性氣體。

DF350

DF300

DF200

DF250

圖片關(guān)鍵詞

DF-550C標準規(guī)范

傳感器方式熱繞組傳感器
閥門方式比例電磁閥(未通電時關(guān)閉)
目標氣體(* 1)N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等
(未記載的氣體換算成N2進行校正)
流量范圍(* 2)10 SCCM~10 SLM
控制范圍2~100%(F.S.)
響應(yīng)能力總流量控制范圍 1sec內(nèi)(wihtin±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度(* 3)±1.0%F.S.
再現(xiàn)性±0.25%F.S.
工作壓差(* 4)50~350 kPa(F.S.10 SLM:100~350 kPa)
*大入口壓力500kPa(G)
耐壓980kPa(G)
He泄漏率1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
溫度使用溫度5~50℃
精度保證溫度15~35℃
允許儲存溫度-10~60℃
允許環(huán)境濕度10~90%RH (無結(jié)露)
氣體接觸材料SUS316L,磁性不銹鋼,PTFE,Ni-Co
電氣連接D-sub 9針KFC Standard(依據(jù)SEMI standard),RJ-45模塊化插孔x 2
流量設(shè)定信號0~5 VDC(輸入電阻約1MΩ)
流量輸出信號0~5 VDC(負載電阻10kΩ以上)
數(shù)字通信使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址:*多99臺(9600 bps)
所需電源(DC)+15 VDC(±5%):150 mA,-15 VDC(±5%):150 mA
接頭相當(dāng)于1/4 VCR
安裝姿勢推薦水平方向
重量(* 9)約1100g

(* 1)應(yīng)為干燥氣體,無腐蝕性成分、灰塵、霧氣等的干凈氣體。

(* 2)流量校準單位SCCM和SLM是質(zhì)量流量在0°C和1個大氣壓狀態(tài)下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。

(* 3)對于流量范圍(*大滿量程)的精度。

(* 4)工作壓差可能因規(guī)格而異。



尺寸圖

圖片關(guān)鍵詞

接線連接

圖片關(guān)鍵詞




關(guān)鍵詞:傳感器 電磁閥

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