用于大規(guī)模生產(chǎn) 125 mm 方形和 156 mm 方形太陽能電池的連續(xù)大氣 CVD 系統(tǒng)
AMAX1000S
156 平方毫米 每小時(shí) 1500 張的吞吐量
通過采用SiC托盤來防止重金屬污染，通過改進(jìn)托盤支架來防止包裹背面的措施
日本AMAYA天谷制作所 半導(dǎo)體晶圓設(shè)備 AMAX1000S
特征
它是一種滿足太陽能電池生產(chǎn)需求的超大規(guī)模生產(chǎn)設(shè)備，可輸送156 mm x 156 mm方形基板和125 mm x 125 mm方形基板。
我們開發(fā)了專用分散頭以實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，并開發(fā)了雙臂輸送機(jī)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)超高速輸送。 此外，還增加了新的燈加熱機(jī)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)超高速和晶圓溫度均勻性。
我們開發(fā)了一種特殊的晶圓支架，用于高效加熱太陽能電池的薄晶圓。
卸料部分使用多級伯努利卡盤來分離晶圓和托盤，并具有冷卻功能。
性能
| 涂層厚度均勻性 | ≦±10.0% |
|---|---|
| 支持的晶圓尺寸 | 156mm方形，125mm方形 |
| 氣體種類 | SiH4，O 2，PH3，B 2H6，N 2 |
| 沉積溫度 | ~430°攝氏度 |
| 生產(chǎn)力 | 1500 個(gè)/小時(shí) |
主要技術(shù)指標(biāo)
| 設(shè)備尺寸 | 1860mm（寬） x 5900mm（深） x 2100mm（高） |
|---|---|
| 加熱機(jī)制 | 電阻加熱和燈加熱 |
| 裝卸 | 裝載：卡盤，卸載：伯努利卡盤 |
| 分散頭（氣體噴嘴） | A63 長頭（標(biāo)配 3 頭） |
