PECVD石墨舟裝載房
基本功能
① 能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車定位。
② 能夠使用石墨舟承載車在里面傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度。
③ 配置經(jīng)中效、高效過(guò)濾器過(guò)濾后的凈化空氣根據(jù)要求定時(shí)向機(jī)內(nèi)循環(huán)吹風(fēng)。
技術(shù)要求
① 整個(gè)冷卻房采用不銹鋼制作,保證整個(gè)設(shè)備堅(jiān)固可靠。
② 風(fēng)機(jī)兩臺(tái),風(fēng)量1000m3/hX2。
③ 配置中效及高效過(guò)濾器,確保吹出空氣達(dá)到凈化要求。
④ 頂部裝有吸風(fēng)罩和手動(dòng)調(diào)節(jié)閥,可調(diào)節(jié)風(fēng)量和風(fēng)速。
⑤ 為達(dá)到節(jié)電效果,必須安裝自控裝置,當(dāng)小車進(jìn)入裝載房后自動(dòng)啟動(dòng)吹風(fēng),冷卻到規(guī)定時(shí)間或小車離開也能自動(dòng)仃止吹風(fēng)。
⑥ 為防止被小車撞擊后移動(dòng),減震地腳選用能安裝膨脹螺釘?shù)牡啬_。