PECVD石墨舟冷卻房

基本功能

① 能準確的使石墨舟承載裝片定位。
② 經(jīng)過濾的潔凈空氣有送風機分散吹向石墨舟，保證石墨舟快速冷卻。

技術要求

① 整個冷卻房采用不銹鋼制作，保證整個設備堅固可靠。
② 進入吹風的空氣必須經(jīng)中效過濾網(wǎng)過濾
③ 吹風機兩臺，左右各一臺，風量1000M/h。
④ 頂部裝有吸風罩和手動調(diào)節(jié)閥，可調(diào)節(jié)風量和風速。
⑤ 為達到節(jié)電效果，必須安裝自控裝置，當小車進入冷卻房后自動啟動，冷卻到規(guī)定時間或小車離開冷卻房后都能自動停止。
⑥ 為防止被小車撞擊后移動，減震地腳選用能安裝膨脹螺釘?shù)牡啬_。

產(chǎn)品展示