Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000
OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計的，可應(yīng)用于化學氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕臺流程中。OG-5000系列設(shè)計緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監(jiān)測器和臭氧破壞器中。Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000該儀器經(jīng)過驗證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導體流程中。
Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000特征
- 高純度臭氧
- 高臭氧濃度
- 價格低
- 無耗材
- 設(shè)計緊湊，模塊化
- 經(jīng)過驗證的技術(shù)
Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000應(yīng)用
化學氣相沉積 (CVD)
原子層沉積 (ALD)
氧化物生長
表面處理
灰化
顆粒清潔
光刻膠去除
其他
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