nXDS泵在其他渦旋泵的基礎上進行優(yōu)化,提高了抽速,獲得了高真空度、更低功耗和噪聲。借助氣鎮(zhèn)功能可以對可冷凝蒸氣(包括水、溶劑、稀酸和堿)進行抽真空。nXDS泵還采用了新的端面密封技術,顯著延長了端面密封條更換的時間間隔。
nXDS-C是改進型,更適用于水蒸氣以及某些具有腐蝕性物質的應用。這個耐化學腐蝕的版本是基于Chemraz®內閥以及不銹鋼材料。nXDS-R型不帶氣鎮(zhèn),因此它不能被突然打開。它可應用于稀有氣體的再循環(huán)或者氣體回收。
軸承罩
可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離,以確保清潔的真空環(huán)境,并避免制程氣體中的污染物進入潤滑劑中,從而延長軸承的使用壽命。
變頻器驅動
范圍內泵性能相同、易于控制、功耗降低和自動電壓調整特性,從而有助于打造*佳用戶體驗。
優(yōu)化渦盤設計
轉速提高, 極限真空比**代提高一個數(shù)量級,*低極限壓力僅為7 x 10-3mbar。
優(yōu)化端面密封技術
使用壽命發(fā)生顯著變化,就大多數(shù)應用而言,典型的端面密封條使用壽命達到2年以上。
高流量氣鎮(zhèn)特性:可以*高220 g/hr的速度抽取蒸氣(包括水蒸氣)。

