快速退火爐 

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概述：

  AST2800是一款用高強(qiáng)度可見光加熱單片wafer或樣片的快速退火系統(tǒng)，其工藝時間短，控溫精度高。工藝穩(wěn)定時間可設(shè)置到9999秒，一般推薦1-600秒。

   相對于傳統(tǒng)的爐管式退火系統(tǒng)，其的水冷腔體設(shè)計(jì)、的溫度控制技術(shù)確保了的溫度均勻性。工藝時，wafer放置在獨(dú)立的石英腔體內(nèi)的石英載盤上，通機(jī)械手自動傳偏到位置，上下兩排燈管對wafer進(jìn)行加熱。允許工程師自由創(chuàng)建、編輯工藝菜單,通過調(diào)整時間、溫度、工藝氣體流量等參數(shù)，控制工藝流程。