FT-332普通方塊電阻測試儀
參照標準:
1.硅片電阻率測量的標準(ASTM F84).
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
雙電組合測試方法:
利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,解決樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響,適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
規(guī)格型 | FT-332 |
1.方塊電阻范圍 | 10-4~2×105Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 10-5~2×106Ω-cm
|
測試電流范圍
| 10μA,100µA,1mA,10mA,100mA |
4.電流精度 | ±0.2%
|
5.電阻精度 | ≤0.3% |
6.顯示讀數(shù) | 液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率 |
7.測試方式 | 普通單電測量 |
8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W |
9.誤差 | ≤4%(標準樣片結果) |
10.選購功能 | 選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺;5.標準電阻 |
11.測試探頭 | 探針間距選購:1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針 |