COWAQ S150RTL-1自動(dòng)真空磁控離子濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
1.尺寸:D W 410 mm x 390 mm x 410 mm H重量:20KG
2.樣品腔室:150mm(D)×65mm(H)
3.選擇靶:57mm(D)x 0.1/0.2mm(厚度)(標(biāo)配靶:金)
4.旋轉(zhuǎn)-傾斜樣品臺(tái): 直徑86mm，靶與樣品表面濺射距離：40mm
5.真空度:1 x10-2 mbar-1 atm
6.濺射電流:10、20、30、40 mA可調(diào)
7.沉積速率:0-25nm /min
8.時(shí)間設(shè)定:0 - 300s可調(diào)
9.預(yù)設(shè)氬氣針閥，樣品室沖洗
10.真空泵:旋片真空泵
11.真空測量:皮拉尼真空計(jì)
12.厚度測量:可選
13.氬氣純度:99.99%, 壓力設(shè)定:0.5/0.6bar, 6.0mm 真空管輸入
14.電源:230 /50HZ