主要功能特點(diǎn)
1、 掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體，抗干擾能力強(qiáng)；
2、 精密激光及探針定位裝置，更換探針及調(diào)節(jié)光斑簡(jiǎn)單方便；
3、 采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；
4、 馬達(dá)自動(dòng)脈沖控制驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；
5、 高精度樣品移動(dòng)裝置，可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域；
6、 帶光學(xué)定位的CCD觀測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針樣品掃描區(qū)域；
7、 模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；
8、 集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用；
9、 彈簧懸掛式防震方式，簡(jiǎn)單實(shí)用，抗干擾能力強(qiáng)。
 

主要技術(shù)指標(biāo)
1、工作模式：接觸模式、輕敲模式，可選配摩擦力、相位、磁力或靜電力
2、樣品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
3、掃描范圍：XY向20um，Z向2um
4、掃描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm
5、樣品移動(dòng)范圍：±6.5mm
6、馬達(dá)趨近脈沖寬度：10±2ms
7、圖像采樣點(diǎn)：256×256，512×512
8、光學(xué)放大倍數(shù)4X，光學(xué)分辨率2.5um
9、掃描速率0.6Hz~4.34Hz，掃描角度0~360°
10、掃描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
11、數(shù)據(jù)采樣：14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
12、反饋方式：DSP數(shù)字反饋
13、反饋采樣速率：64.0KHz
14、計(jì)算機(jī)接口：USB2.0
15、運(yùn)行環(huán)境：運(yùn)行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng)

 主要應(yīng)用范圍